化学气相沉积系统

名称：化学气相沉积系统

• 资产编号：2021011812
• 型号：OTF-1500X-III
• 产地：中国
• 厂家：合肥科晶
• 所属单位：物理学院
• 使用性质：科研
• 联系人：何钦明 陈彦聪
• 放置地点：304半导体探测器实验室

主要规格及技术指标

• 炉管尺寸 60＊1200mm， 加热元件：硅碳棒 ， 加热区：三个温区总长度: 600mm Z1 - Z2 - Z3：200mm ＋ 200mm ＋ 200mm 恒温区长度: 260 mm （三个温区设置同样的温度）。 工作温度：最高工作温度：1500℃；连续工作温度：1400℃；最大升温速率：20℃／min，建议使用5-10℃／min . 四路气体：氮气、氩气、氢气、氧气

主要功能及特色

• 二维材料生长 材料、器件退火 正在加载预约资源…… 正在加载检测项目……